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graphene转移
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hhehe
新虫
(初入文坛)
应助: 0
(幼儿园)
金币: 833.4
帖子: 48
在线: 160.4小时
虫号: 1586816
[交流]
graphene转移
1)看了很多文献,基本都是会用polymer,但是用了后蚀刻不干净,不有残余,影响继续使用效果。有一篇伯克利弄的直接转移的,试了很多次,靠IPA来bonding转移基体和石墨烯铜箔根本就不靠谱,时有时没有。还有那种先刻在水里,再捞起来用的,同样感觉不靠谱。单层的石墨烯再水里很难辨别,而且离开铜基体后很容易crackle.
给位有用过比较好的方法来转么?
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2013-09-26 03:00:54
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思凡的沙弥
银虫
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应助: 30
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金币: 339
帖子: 74
在线: 80小时
虫号: 2682007
★
hhehe(金币+1): 谢谢参与
连铜箔取出,旋涂PMMA,用FeCl3腐蚀掉Cu,再在水里洗干净,转移到硅片上,最后用茴香醚溶解PMMA,用丙酮超声清洗。
整个过程需要细致小心,transfer总是很tricky的,lz要有耐心。
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4楼
2013-09-29 21:16:15
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