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hhehe

新虫 (初入文坛)

[交流] graphene转移

1）看了很多文献，基本都是会用polymer，但是用了后蚀刻不干净，不有残余，影响继续使用效果。有一篇伯克利弄的直接转移的，试了很多次，靠IPA来bonding转移基体和石墨烯铜箔根本就不靠谱，时有时没有。还有那种先刻在水里，再捞起来用的，同样感觉不靠谱。单层的石墨烯再水里很难辨别，而且离开铜基体后很容易crackle.
给位有用过比较好的方法来转么？
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1楼 2013-09-26 03:00:54
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思凡的沙弥

银虫 (小有名气)
★
hhehe(金币+1): 谢谢参与
连铜箔取出，旋涂PMMA，用FeCl3腐蚀掉Cu，再在水里洗干净，转移到硅片上，最后用茴香醚溶解PMMA，用丙酮超声清洗。
整个过程需要细致小心，transfer总是很tricky的，lz要有耐心。
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4楼2013-09-29 21:16:15
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zhoujngyuan

新虫 (小有名气)
★
hhehe(金币+1): 谢谢参与
引用回帖:
4楼: Originally posted by 思凡的沙弥 at 2013-09-29 21:16:15
连铜箔取出，旋涂PMMA，用FeCl3腐蚀掉Cu，再在水里洗干净，转移到硅片上，最后用茴香醚溶解PMMA，用丙酮超声清洗。
整个过程需要细致小心，transfer总是很tricky的，lz要有耐心。

请问用茴香醚比直接用丙酮好么？我们现在是直接用丙酮溶解，请问二者在转移中有什么差别？
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6楼2013-09-30 00:00:37
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hhehe

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
4楼: Originally posted by 思凡的沙弥 at 2013-09-29 21:16:15
连铜箔取出，旋涂PMMA，用FeCl3腐蚀掉Cu，再在水里洗干净，转移到硅片上，最后用茴香醚溶解PMMA，用丙酮超声清洗。
整个过程需要细致小心，transfer总是很tricky的，lz要有耐心。

这样PMMA会有残余，没有办法完全清楚。而且单层的石墨烯，这么一圈折腾下来，肯定各种crackle
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7楼2013-09-30 00:22:26
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antimatter

木虫 (小有名气)
★
hhehe(金币+1): 谢谢参与
用手机贴膜，基本没有残留。
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8楼2013-09-30 10:10:42
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acet050

新虫 (初入文坛)
★
hhehe(金币+1): 谢谢参与
引用回帖:
8楼: Originally posted by antimatter at 2013-09-30 10:10:42
用手机贴膜，基本没有残留。

如果用手机贴膜的话该如何操作呢？
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9楼2013-12-06 14:06:57
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张济1810

木虫 (小有名气)
★
hhehe(金币+1): 谢谢参与
引用回帖:
4楼: Originally posted by 思凡的沙弥 at 2013-09-29 21:16:15
连铜箔取出，旋涂PMMA，用FeCl3腐蚀掉Cu，再在水里洗干净，转移到硅片上，最后用茴香醚溶解PMMA，用丙酮超声清洗。
整个过程需要细致小心，transfer总是很tricky的，lz要有耐心。

这个方法 残余物多吗
因为我一开始有打算用高温退火通氢气氩气 来去除PMMA的残余物的 但是我怕高温退火时 把目标基底PDMS给熔解了
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10楼2015-03-17 09:33:28
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张济1810

木虫 (小有名气)
引用回帖:
4楼: Originally posted by 思凡的沙弥 at 2013-09-29 21:16:15
连铜箔取出，旋涂PMMA，用FeCl3腐蚀掉Cu，再在水里洗干净，转移到硅片上，最后用茴香醚溶解PMMA，用丙酮超声清洗。
整个过程需要细致小心，transfer总是很tricky的，lz要有耐心。

另外 丙酮超声清洗 会不会把一些石墨烯也给振掉下来了？？
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11楼2015-03-17 09:35:29
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haixiawu2楼
2013-09-26 03:20   回复  
hhehe(金币+1): 谢谢参与
xiejf3楼
2013-09-29 19:30   回复  
hhehe(金币+1): 谢谢参与
yingying15885楼
2013-09-29 23:06   回复  
hhehe(金币+1): 谢谢参与
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