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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 专业学科区 » 物理 » 物理学史&新闻 » 【求助】磁控溅射问题(设备真空度上不去)
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wanglaisen

木虫 (正式写手)
★
fenghbu(金币+1,VIP+0):thanks
你对自己的设备写的不够详细，别人对你的情况不了解，很难帮上你的忙！
比如是用的什么泵（主泵是分子泵还是油扩散泵），还有就是所有接口的地方使用什么密封的，（橡胶圈、铜垫什么的）！
还有就是抽不上去，也会有一定的真空度的，你把泵停掉之后，看真空度变差的速度！要是很快，那就是密封不好，用检漏仪检查一下！
要是密封性还好，那就是泵的问题了……
好好检查一下吧，真空设备没什么很难的地方，认真检查一下，总会找出原因的！
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11楼2007-11-29 13:48:52
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wcaiyy

木虫 (小有名气)
★
fenghbu(金币+1,VIP+0):thanks
检查你动过的地方!!
千万别用封泥!!!!!!
太脏,又不好用,一点用都没有!!只能起临时作用!!
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12楼2007-11-29 15:06:37
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FePt

木虫 (正式写手)

以我使用溅射仪6年的经验建议你

★ ★
musi429(金币+2,VIP+0):多谢交流～～:)
首先，动过哪里，最后可能那里漏气

再者，连接处的无氧铜圈是一次性的，如果上紧的时候用力不均匀，会漏气

3，气路检漏可以用肥皂泡，简单，当然有检漏仪更好

4，机械泵的油要经常换

5，现在溅射仪一般用分子泵，检查分子泵转速

嗬嗬，我遇到的问题太多了，如果以上检查完了还不行，再找我
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13楼2008-02-25 16:15:43
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zw1985915

铜虫 (小有名气)
★ ★
zt970831(金币+2,VIP+0):谢谢您的交流：）
问题提得似乎很模糊，无非就是两方面问题：1、腔体及气管漏气；2、分子泵存在效率问题。另外，建议先试试抽真空时，对真空腔进行烘烤，看看结果，再寻找原因。
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14楼2008-03-25 22:42:26
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HARRY231

木虫 (小有名气)

captain
★
zt970831(金币+1,VIP+0):谢谢您的交流：）
先应用究竟酒精在真空室周围涂抹一周检查是否漏气，如果没有可以利用加温的方法看真空度能不能上去。
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人生那么多不确定，你怕什么？考虑不清楚的时候就平静一下心情，然后去做实验吧！
15楼2008-03-26 09:25:33
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guansong826

铜虫 (小有名气)
★
zt970831(金币+1,VIP+0):谢谢您的交流：）
检查真空室里面是不是有什么挥发性的东西，清理干净真空室
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16楼2008-03-26 13:59:27
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