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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 专业学科区 » 物理 » 物理学史&新闻 » 【求助】磁控溅射问题(设备真空度上不去)
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sangelndy

新虫 (小有名气)

[交流] 【求助】磁控溅射问题(设备真空度上不去)

Sample Text[/font
我的磁控溅射设备真空度上不去，不知识哪里出了问题，请各位大虾多多指点

[ Last edited by zt970831 on 2008-3-26 at 23:46 ]
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1楼 2007-11-27 16:51:18
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gyliu

铁杆木虫 (职业作家)
跪求不能乱用的
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2楼2007-11-28 02:31:16
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yangy1982

银虫 (初入文坛)
★
fenghbu(金币+1,VIP+0):thanks
检查气孔接头，流量计的接口，考虑一下用真空封泥，如果是腔与底部漏气，也许效果就不好了
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3楼2007-11-28 09:01:50
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granular

木虫 (著名写手)
你这问题没法回答。

说具体点，

另外，在真空度上不去前，你干过什么？
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4楼2007-11-28 10:57:43
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yemaiweiwei

铜虫 (小有名气)
★
fenghbu(金币+1,VIP+0):thanks
如果是真空室漏气,可以试试用密封脂涂一下
如果是由于长时间暴露于空气中可能吸附了水气可以烘烤一下,再通纯净气体再抽一次看看.
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5楼2007-11-28 11:04:28
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neuyongjie

银虫 (小有名气)
★
fenghbu(金币+1,VIP+0):thanks
最有效的方法是用检漏仪检测一下
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6楼2007-11-28 20:09:41
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abawyo

金虫 (初入文坛)
★
musi429(金币+1,VIP+0):多谢交流~
可能测真空的侦测器坏掉~~~~这个部份很容易你开气体一下子开太大就冲坏了
或者真空计有问题~~~你可以先用酒精低在一些接点上~~~
看看真空度是否有跳动~~~~
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7楼2007-11-29 01:29:23
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lchyang

木虫 (小有名气)
★
fenghbu(金币+1,VIP+0):thanks
先测漏，关键看接点位置，另外检查你使用的泵是否有问题，若是使用DP，着重检查，另外真空腔里是否有漏水漏气？
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8楼2007-11-29 08:28:08
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yuegh

铁杆木虫 (职业作家)

你用的是什么泵？

★
musi429(金币+1,VIP+0):多谢交流~~
扩散泵还是？
扩散泵的话看看是不是泵油氧化了
前几次是否忘了冷却水或者是操作不合适扩散泵进入了氧气
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9楼2007-11-29 10:01:30
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huhuhuhu

铁杆木虫 (著名写手)

大师兄
★
musi429(金币+1,VIP+0):多谢交流～～
真空度上不去，第一怀疑泵，第二怀疑漏气，第三怀疑真空计

楼主的跪求也太轻易了一点
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10楼2007-11-29 10:51:38
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