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sangelndy

新虫 (小有名气)

应助: 0 (幼儿园)
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红花: 3
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在线: 51.4小时
虫号: 451137
注册: 2007-11-04
性别: GG
专业: 无机合成和制备化学

[交流] 【求助】磁控溅射问题(设备真空度上不去)

Sample Text[/font
我的磁控溅射设备真空度上不去，不知识哪里出了问题，请各位大虾多多指点

[ Last edited by zt970831 on 2008-3-26 at 23:46 ]

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1楼 2007-11-27 16:51:18

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yangy1982

银虫 (初入文坛)

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帖子: 18
在线: 2486.9小时
虫号: 375078
注册: 2007-05-18
专业: 物理学

★
fenghbu(金币+1,VIP+0):thanks

检查气孔接头，流量计的接口，考虑一下用真空封泥，如果是腔与底部漏气，也许效果就不好了

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3楼2007-11-28 09:01:50

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gyliu

铁杆木虫 (职业作家)

应助: 335 (大学生)
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注册: 2007-03-19
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跪求不能乱用的

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2楼2007-11-28 02:31:16

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granular

木虫 (著名写手)

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专业: 凝聚态物性 II ：电子结构

你这问题没法回答。

说具体点，

另外，在真空度上不去前，你干过什么？

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4楼2007-11-28 10:57:43

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yemaiweiwei

铜虫 (小有名气)

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专业: 光学

★
fenghbu(金币+1,VIP+0):thanks

如果是真空室漏气,可以试试用密封脂涂一下
如果是由于长时间暴露于空气中可能吸附了水气可以烘烤一下,再通纯净气体再抽一次看看.

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5楼2007-11-28 11:04:28

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