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sangelndy

新虫 (小有名气)

[交流] 【求助】磁控溅射问题(设备真空度上不去)

Sample Text[/font
我的磁控溅射设备真空度上不去,不知识哪里出了问题,请各位大虾多多指点

[ Last edited by zt970831 on 2008-3-26 at 23:46 ]
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FePt

木虫 (正式写手)

以我使用溅射仪6年的经验建议你

★ ★
musi429(金币+2,VIP+0):多谢交流~~:)
首先,动过哪里,最后可能那里漏气

再者,连接处的无氧铜圈是一次性的,如果上紧的时候用力不均匀,会漏气

3,气路检漏可以用肥皂泡,简单,当然有检漏仪更好

4,机械泵的油要经常换

5,现在溅射仪一般用分子泵,检查分子泵转速

嗬嗬,我遇到的问题太多了,如果以上检查完了还不行,再找我
13楼2008-02-25 16:15:43
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gyliu

铁杆木虫 (职业作家)

跪求不能乱用的
2楼2007-11-28 02:31:16
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yangy1982

银虫 (初入文坛)


fenghbu(金币+1,VIP+0):thanks
检查气孔接头,流量计的接口,考虑一下用真空封泥,如果是腔与底部漏气,也许效果就不好了
3楼2007-11-28 09:01:50
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granular

木虫 (著名写手)

你这问题没法回答。

说具体点,

另外,在真空度上不去前,你干过什么?
4楼2007-11-28 10:57:43
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