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sangelndy

新虫 (小有名气)

[交流] 【求助】磁控溅射问题(设备真空度上不去)

Sample Text[/font
我的磁控溅射设备真空度上不去,不知识哪里出了问题,请各位大虾多多指点

[ Last edited by zt970831 on 2008-3-26 at 23:46 ]
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HARRY231

木虫 (小有名气)

captain


zt970831(金币+1,VIP+0):谢谢您的交流:)
先应用究竟酒精在真空室周围涂抹一周检查是否漏气,如果没有可以利用加温的方法看真空度能不能上去。
人生那么多不确定,你怕什么?考虑不清楚的时候就平静一下心情,然后去做实验吧!
15楼2008-03-26 09:25:33
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gyliu

铁杆木虫 (职业作家)

跪求不能乱用的
2楼2007-11-28 02:31:16
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yangy1982

银虫 (初入文坛)


fenghbu(金币+1,VIP+0):thanks
检查气孔接头,流量计的接口,考虑一下用真空封泥,如果是腔与底部漏气,也许效果就不好了
3楼2007-11-28 09:01:50
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granular

木虫 (著名写手)

你这问题没法回答。

说具体点,

另外,在真空度上不去前,你干过什么?
4楼2007-11-28 10:57:43
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