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sangelndy

新虫 (小有名气)

[交流] 【求助】磁控溅射问题(设备真空度上不去)

Sample Text[/font
我的磁控溅射设备真空度上不去,不知识哪里出了问题,请各位大虾多多指点

[ Last edited by zt970831 on 2008-3-26 at 23:46 ]
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wanglaisen

木虫 (正式写手)


fenghbu(金币+1,VIP+0):thanks
你对自己的设备写的不够详细,别人对你的情况不了解,很难帮上你的忙!
比如是用的什么泵(主泵是分子泵还是油扩散泵),还有就是所有接口的地方使用什么密封的,(橡胶圈、铜垫什么的)!
还有就是抽不上去,也会有一定的真空度的,你把泵停掉之后,看真空度变差的速度!要是很快,那就是密封不好,用检漏仪检查一下!
要是密封性还好,那就是泵的问题了……
好好检查一下吧,真空设备没什么很难的地方,认真检查一下,总会找出原因的!
11楼2007-11-29 13:48:52
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gyliu

铁杆木虫 (职业作家)

跪求不能乱用的
2楼2007-11-28 02:31:16
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yangy1982

银虫 (初入文坛)


fenghbu(金币+1,VIP+0):thanks
检查气孔接头,流量计的接口,考虑一下用真空封泥,如果是腔与底部漏气,也许效果就不好了
3楼2007-11-28 09:01:50
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granular

木虫 (著名写手)

你这问题没法回答。

说具体点,

另外,在真空度上不去前,你干过什么?
4楼2007-11-28 10:57:43
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