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测量表面电荷密度(精彩回答有金币追加)
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虫号: 2607181
注册: 2013-08-17
专业: 凝聚态物性 II :电子结构
[
求助
]
测量表面电荷密度(精彩回答有金币追加)
测量半导体的时候,发现有一下方法。
1. EFM:样品的表面电荷决定库仑力。用F和电荷的关系,先拿已知密度的样品做个基准,然后和这个calibration比较,比值便知道,那么未知样品的密度也就知道了(
http://epub.cnki.net/kns/detail/ ... ode=CJFQ&pr
)
2.EFM:
http://dx.doi.org/10.1063/1.3028639(
原文在此)。最后一页,右上角的公式,意思说能带弯曲程度V0的根号和电荷成正比。
3.除此之外呢?
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2013-09-21 13:27:23
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