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maiziduo

铜虫 (初入文坛)

[求助] 运用不同测试方法测试GaN或其他半导体薄膜的厚度区别

用白光干涉仪与SEM测量GaN薄膜厚度的区别?为什么?
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liu2004m

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【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
maiziduo: 金币+5, 博学EPI+1, 有帮助 2013-09-09 17:19:23
白光干涉仪测整体的薄膜厚度
SEM只是看得很小的一个局部范围的薄膜厚度
2楼2013-09-05 14:34:48
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