24小时热门版块排行榜

返回列表

当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖

落叶_梧桐

新虫 (初入文坛)

应助: 0 (幼儿园)
金币: 165.3
红花: 1
帖子: 28
在线: 53.7小时
虫号: 2239456
注册: 2013-01-14
专业: 机械摩擦学与表面技术

[交流] 怎么测量CMP加工中，材料的去除率呢已有1人参与

有人知道如何方便的测量，化学机械抛光中材料的去除量。在纳米，微米量级。我之前用的是测重量的方法。但是不太精确

回复此楼

» 猜你喜欢

【博士招生】英国拉夫堡大学博士招生（LU-CSC scholarship, 暂免ATAS）已经有0人回复
北京理工大学空天学院-招收发动机相关专业（力学、燃烧传热等方向）博士生已经有2人回复
机械工程论文润色/翻译怎么收费? 已经有169人回复
【模拟经典书】《Handbook of Materials Modeling》2020年第2版已经有5人回复
国自然申报交流祈福已经有153人回复
哈尔滨理工大学材料加工工程专业26秋入学博士尚有少量招生名额已经有0人回复
爱尔兰都柏林大学工学院全额奖学金招聘博士研究生已经有1人回复
请问下国内的中文EI学报有哪些投稿周期比较快的已经有7人回复
力学研究所某专项团队支撑岗位和特别研究助理岗位招聘启事(长期有效) 已经有10人回复
力学研究所某专项团队支撑岗位和特别研究助理岗位招聘启事已经有10人回复
求助一个声学问题——声阻抗匹配已经有0人回复

» 本主题相关商家推荐: (我也要在这里推广)

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:

怎么测量CMP加工中，材料的去除率呢（纳米/微米级去除）已经有0人回复

1楼 2013-09-04 09:39:25

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

fyl1989

金虫 (正式写手)

应助: 3 (幼儿园)
金币: 1194.1
散金: 26
红花: 10
帖子: 507
在线: 151.1小时
虫号: 2245000
注册: 2013-01-16
性别: GG
专业: 半导体晶体与薄膜材料

★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖

引用回帖:

5楼: Originally posted by 落叶_梧桐 at 2013-09-27 12:46:17
是透明的，属于半导体...

属于半导体的话，如果抛光机没有在线的终点检测，可以利用压台阶来测量，不过前提是必须有台阶仪，或者可以利用光学方法，如白光干涉仪或椭偏仪，不过就我所知道的，白光干涉仪可以测量金属氧化物、氮化物，前期是必须知道被测材料的折射系数，椭偏的话就更复杂了。。不知你们那有这些设备么，或是可以去其他学院或学校测，不过做CMP测厚度是经常的，如果跨校了就不方便了！