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怎么测量CMP加工中，材料的去除率呢 已有1人参与
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| 有人知道如何方便的测量，化学机械抛光中材料的去除量。在纳米，微米量级。我之前用的是测重量的方法。但是不太精确 |
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- 怎么测量CMP加工中，材料的去除率呢（纳米/微米级去除）
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3楼2013-09-26 20:42:03
fyl1989
金虫 (正式写手)
- 应助: 3 (幼儿园)
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- 在线: 151.1小时
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- 性别: GG
- 专业: 半导体晶体与薄膜材料
2楼2013-09-26 15:41:48
fyl1989
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4楼2013-09-27 07:30:17
5楼2013-09-27 12:46:17