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磁控溅射做InGaN薄膜 ，抽的真空度不够，材料中都是氧怎么办？求交流 已有2人参与
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| 有没有用磁控溅射做InGaN薄膜的？仪器的原因造成真空度不够材料中都是氧怎么办？ |
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yswyx 
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