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hyx8902

银虫 (初入文坛)

[交流] 磁控溅射做InGaN薄膜 ,抽的真空度不够,材料中都是氧怎么办?求交流 已有2人参与

有没有用磁控溅射做InGaN薄膜的?仪器的原因造成真空度不够材料中都是氧怎么办?
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer


没办法。修好机器,重新镀膜,除此之外,别无他法。
2楼2013-09-03 13:38:33
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer


要么将现有的薄膜置于真空炉中,在较高温度下通入流动的高纯氢气处理一段时间后再检测一下。
3楼2013-09-03 13:42:03
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yswyx

专家顾问 (著名写手)



小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
材料的outgassing对于溅射的真空影响很小。
设备真空度上不去就去捡漏,实在不行就换机器。
4楼2013-09-04 00:17:07
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