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磁控溅射做InGaN薄膜 ,抽的真空度不够,材料中都是氧怎么办?求交流 已有2人参与
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| 有没有用磁控溅射做InGaN薄膜的?仪器的原因造成真空度不够材料中都是氧怎么办? |
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磁控溅射镀ZnO,大家真空度一般抽到多少?
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peterflyer
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3楼2013-09-03 13:42:03
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