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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 设计与制备 » AZ胶光刻显影时间不确定。。。求大神
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移云宝宝

银虫 (初入文坛)

[求助] AZ胶光刻显影时间不确定。。。求大神

我不知道AZ胶的显影时间和基底有关系么？别人用的SI基底，40s显影图案非常好。我用的LAO基底，AZ5214，先烘干120°，20min。匀胶2000转5s，6000转29s。热板90°，6min，光刻9.5s，120°，120s翻转，然后曝光120s，到最后的显影就悲剧了。实验重复了很多次，有极少数几次2min就得到图案，绝大多数5min以上了，拿到显微镜下显影仍不完全。感觉完全是随机的啊~~求大神指导。。。。
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1楼 2013-09-02 16:24:02
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vincentwz

铁杆木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
移云宝宝(chemlh代发): 金币+1, 欢迎积极交流 2013-09-02 18:29:41
移云宝宝: 金币+3, ★★★★★最佳答案 2013-09-05 03:29:01
前烘（热板90°，6min）改为110°，50s吧，
不知道你的光强是多少，觉得第一次曝光时间很可能长了，降到4s先试试
反转的那一道烘烤时间并不固定，看着基片，发现上面的图形明显显现了就好，
显影时也是看着显干净了再拿出来
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2楼2013-09-02 16:52:23
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移云宝宝

银虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by vincentwz at 2013-09-02 16:52:23
前烘（热板90°，6min）改为110°，50s吧，
不知道你的光强是多少，觉得第一次曝光时间很可能长了，降到4s先试试
反转的那一道烘烤时间并不固定，看着基片，发现上面的图形明显显现了就好，
显影时也是看着显干净 ...

光强，汞灯上显示285，这个应该代表光强吧，我也不清楚具体意思。真的很感谢，我晚上再试试。
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3楼2013-09-02 17:22:40
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vincentwz

铁杆木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

引用回帖:
3楼: Originally posted by 移云宝宝 at 2013-09-02 17:22:40
光强，汞灯上显示285，这个应该代表光强吧，我也不清楚具体意思。真的很感谢，我晚上再试试。...

285应该是汞灯功率，应该还有一个meter测量或者直接显示光强度，单位一般是mW/cm^2
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4楼2013-09-02 17:43:03
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yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
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fbqrdzs: 金币+2, 应助指数+1, 有帮助 2013-09-03 09:14:31
移云宝宝: 金币+3, ★★★很有帮助 2013-09-05 03:29:30
6000转的5214应该比较薄了，1um左右的厚度吧。但是你的前烘是90度6min，这个明显时间长了。不了解LAO的热导率是不是比Si小很多，即使是小很多，这个前烘时间也太长了些。
一般光刻胶，前烘时间长，只要曝光剂量加大才能显出图形的，甚至显不出。建议前烘时间改为2min。楼上说的110度50秒也是类似。
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5楼2013-09-02 20:08:39
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移云宝宝

银虫 (初入文坛)
引用回帖:
5楼: Originally posted by yswyx at 2013-09-02 20:08:39
6000转的5214应该比较薄了，1um左右的厚度吧。但是你的前烘是90度6min，这个明显时间长了。不了解LAO的热导率是不是比Si小很多，即使是小很多，这个前烘时间也太长了些。
一般光刻胶，前烘时间长，只要曝光剂量加大 ...

哦，我本以为，是翻转的时间不够呢，LAO的片子要比Si薄很多，所以导热率应该更高，估计是这个原因。一会进超净室就改一下前烘时间。
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6楼2013-09-02 21:59:21
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sgdaiwen

新虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
fbqrdzs: 金币+2, 有帮助 2013-09-03 09:14:44
移云宝宝: 金币+3, ★★★很有帮助 2013-09-05 03:29:36
首先AZ5214是liftoff专用胶吧，你旋涂的时候转速太快了，这样导致你的光刻胶太薄，建议4000rp左右。再者你曝光时间过长，通常曝光量40mj/cm2 就行了，一般新的高压汞灯5-10s即可。还有前烘一般采取高温短时间的方法，建议100℃，试一试，以上是我个人的一点看法。
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sgdaiwen
7楼2013-09-03 09:02:52
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移云宝宝

银虫 (初入文坛)
看来主要是前烘的问题，改成100°C，1min，其他不变，显影3min，效果很好~~谢谢各位~
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8楼2013-09-05 03:27:19
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chenmeng_413

新虫 (初入文坛)
前烘时间不能过长，我们之前有试过前烘100摄氏度，5min，结果效果不理想，后来改进，前烘100摄氏度，90s，效果就明显有好转，还有转速不要太快，建议500、4000
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9楼2013-11-21 20:44:40
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