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AZ胶光刻显影时间不确定。。。求大神
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| 我不知道AZ胶的显影时间和基底有关系么？别人用的SI基底，40s显影图案非常好。我用的LAO基底，AZ5214，先烘干120°，20min。匀胶2000转5s，6000转29s。热板90°，6min，光刻9.5s，120°，120s翻转，然后曝光120s，到最后的显影就悲剧了。实验重复了很多次，有极少数几次2min就得到图案，绝大多数5min以上了，拿到显微镜下显影仍不完全。感觉完全是随机的啊~~求大神指导。。。。 |
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