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CVD(化学气相沉积)制备薄膜
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我是做CVD的,要用到H2作为催化剂,高温反应后,氢气被排出,要通过水平较长的金属管道(半径较粗)靠自然力排到空气中,虽然没有明火,可是有没有可能氢气与金属内壁摩擦,产生火花,而爆炸?(另:我们设备设计不是很合理) 请那些做CVD用到氢气的前辈指导,不胜感激 [search]CVD[/search] |
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Tavano
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