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CVD（化学气相沉积）制备薄膜
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我是做CVD的，要用到H2作为催化剂，高温反应后，氢气被排出，要通过水平较长的金属管道（半径较粗）靠自然力排到空气中，虽然没有明火，可是有没有可能氢气与金属内壁摩擦，产生火花，而爆炸？（另：我们设备设计不是很合理） 请那些做CVD用到氢气的前辈指导，不胜感激 [search]CVD[/search] |
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