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汕头大学海洋科学接受调剂
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kingsuper001

[交流] CVD（化学气相沉积）制备薄膜

我是做CVD的，要用到H2作为催化剂，高温反应后，氢气被排出，要通过水平较长的金属管道（半径较粗）靠自然力排到空气中，虽然没有明火，可是有没有可能氢气与金属内壁摩擦，产生火花，而爆炸？（另：我们设备设计不是很合理）
请那些做CVD用到氢气的前辈指导，不胜感激
[search]CVD[/search]
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1楼 2007-11-15 14:56:55
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Tavano

铁杆木虫 (正式写手)
管道及其出口处如果没有明火或者高温的话应该不会因摩擦而发生爆炸
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2楼2007-11-15 16:19:58
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kingsuper001

谢谢！管道和出口肯定没有明火,温度也不会高。
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3楼2007-11-15 22:21:20
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Cinderella2006

还不能有氧气进入吧？
要不然，也很危险哦
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4楼2007-11-18 10:37:31
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kingsuper001

管道是和外部大气相通的，肯定有氧气。但是炉内抽完真空，肯定没有氧气。
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5楼2007-11-20 20:49:51
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hzqllsun

木虫 (小有名气)
气体管路供应商有防回火的装置，买一个安上就行了！！！预防一下也是好的，等出了事再挽救就晚了！！！
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PermanentHeadDamage;ProudlyHalfDead;PigHasDream！
6楼2007-11-20 22:27:24
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