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cityhawk

新虫 (正式写手)


[交流] 中科院电工所改装SEM成为电子束曝光系统后性能怎么样?

有人用过中科院电工所把SEM加装纳米通用图形发生器改装的成电子束曝光系统吗?性能和稳定性到底如何呢?本实验室正在考虑这个办法,买个120万左右的SEM,然后让他们改装,我们今后的用途大概曝光图案在100nm左右。谢谢回复!
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vincentwz

铁杆木虫 (著名写手)



cityhawk(金币+1): 谢谢参与
还是找专业的公司做吧
5楼2013-08-24 22:52:52
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cityhawk(金币+1): 谢谢参与
让他们自己提供几个使用者的联系方式不就行了。
2楼2013-08-22 13:14:21
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13217610791

捐助贵宾 (小有名气)



cityhawk(金币+1): 谢谢参与
個人認為挺冒險的,,
3楼2013-08-22 17:30:00
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cord

铁杆木虫 (著名写手)



cityhawk(金币+1): 谢谢参与
给他们几个样品测试一下,看看.
4楼2013-08-22 20:20:42
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