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[交流]
中科院电工所改装SEM成为电子束曝光系统后性能怎么样？
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| 有人用过中科院电工所把SEM加装纳米通用图形发生器改装的成电子束曝光系统吗？性能和稳定性到底如何呢？本实验室正在考虑这个办法，买个120万左右的SEM，然后让他们改装，我们今后的用途大概曝光图案在100nm左右。谢谢回复！ |
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