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中科院电工所改装SEM成为电子束曝光系统后性能怎么样?
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cityhawk
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[交流]
中科院电工所改装SEM成为电子束曝光系统后性能怎么样?
有人用过中科院电工所把SEM加装纳米通用图形发生器改装的成电子束曝光系统吗?性能和稳定性到底如何呢?本实验室正在考虑这个办法,买个120万左右的SEM,然后让他们改装,我们今后的用途大概曝光图案在100nm左右。谢谢回复!
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2013-08-22 12:56:34
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cityhawk(金币+1): 谢谢参与
让他们自己提供几个使用者的联系方式不就行了。
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2013-08-22 13:14:21
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cityhawk(金币+1): 谢谢参与
個人認為挺冒險的,,
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3楼
2013-08-22 17:30:00
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cityhawk(金币+1): 谢谢参与
给他们几个样品测试一下,看看.
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2013-08-22 20:20:42
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vincentwz
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cityhawk(金币+1): 谢谢参与
还是找专业的公司做吧
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5楼
2013-08-24 22:52:52
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