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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 中科院电工所改装SEM成为电子束曝光系统后性能怎么样？
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cityhawk

新虫 (正式写手)

[交流] 中科院电工所改装SEM成为电子束曝光系统后性能怎么样？

有人用过中科院电工所把SEM加装纳米通用图形发生器改装的成电子束曝光系统吗？性能和稳定性到底如何呢？本实验室正在考虑这个办法，买个120万左右的SEM，然后让他们改装，我们今后的用途大概曝光图案在100nm左右。谢谢回复！
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1楼 2013-08-22 12:56:34
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vincentwz

铁杆木虫 (著名写手)
★
cityhawk(金币+1): 谢谢参与
还是找专业的公司做吧
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5楼2013-08-24 22:52:52
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