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tom95064

新虫 (小有名气)

[求助] 用扫描电镜看薄膜截面时的基底影响问题求助

实验中用扫描电镜看薄膜截面时，玻璃基底不知怎的老是发亮光，而且聚焦时由于发生漂移而无法成功聚焦得到清晰的薄膜断面图像，而看到文献中报道的的薄膜器件截面图都很清晰，请问该问题是什么原因造成的？操作电镜或样品制备过程中如何避免呢？谢谢！
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1楼 2013-08-15 15:54:23
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gxytju2008

专家顾问 (文坛精英)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
tom95064: 金币+5, ★★★很有帮助 2013-08-15 17:35:27
发亮光？你喷金了么，还有玻璃和样品台要连起来，否则不导电不行的，不可能发亮光的一般，总之你要保证要看的面导电性够好，而且电流能导到样品台上
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2楼2013-08-15 16:40:24
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tom95064

新虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by gxytju2008 at 2013-08-15 16:40:24
发亮光？你喷金了么，还有玻璃和样品台要连起来，否则不导电不行的，不可能发亮光的一般，总之你要保证要看的面导电性够好，而且电流能导到样品台上

谢谢回复。关于“发亮光”，我可能描述的不太准确，但我也不知道怎么描述好些，总之感觉玻璃部分发白色亮光。我的薄膜样品本身是半导体，因此没有喷金，看表面没有问题，很清晰，但截面就不行。我们观察截面时是将样品垂直放置即截面水平，实际还是测表面（将玻璃衬底一侧用双面胶垂直粘在样品台上的，胶带应该是导电胶带）。

如果按你说的电流需要导到样品台上，那恐怕我制样还是有问题，因为玻璃本身不导电。但是这样的话，为什么薄膜表面观察时却没问题呢，测表面时薄膜和导电胶之间也是隔着玻璃的啊，电流恐怕也不能传到样品台上。
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3楼2013-08-15 17:00:49
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tom95064

新虫 (小有名气)
引用回帖:
3楼: Originally posted by tom95064 at 2013-08-15 17:00:49
谢谢回复。关于“发亮光”，我可能描述的不太准确，但我也不知道怎么描述好些，总之感觉玻璃部分发白色亮光。我的薄膜样品本身是半导体，因此没有喷金，看表面没有问题，很清晰，但截面就不行。我们观察截面时是将 ...

难道需要只在玻璃截面处喷上金吗？感觉这样很难操作啊，大家是怎样测试的呢？
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4楼2013-08-15 17:03:03
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gxytju2008

专家顾问 (文坛精英)
引用回帖:
3楼: Originally posted by tom95064 at 2013-08-15 17:00:49
谢谢回复。关于“发亮光”，我可能描述的不太准确，但我也不知道怎么描述好些，总之感觉玻璃部分发白色亮光。我的薄膜样品本身是半导体，因此没有喷金，看表面没有问题，很清晰，但截面就不行。我们观察截面时是将 ...

贴在90度样品台，表面用导电胶和台子贴起来，然后对截面喷金，你这截面整个都不导电肯定要放电的，光看膜短时间它电子不会大量聚在一个点，还好点
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5楼2013-08-15 17:13:47
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tom95064

新虫 (小有名气)
引用回帖:
5楼: Originally posted by gxytju2008 at 2013-08-15 17:13:47
贴在90度样品台，表面用导电胶和台子贴起来，然后对截面喷金，你这截面整个都不导电肯定要放电的，光看膜短时间它电子不会大量聚在一个点，还好点...

哦，可能就是因为电荷积聚造成的。明白该怎么做了，谢谢！
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6楼2013-08-15 17:34:43
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vincentwz

铁杆木虫 (著名写手)
这个显然是要喷金啊，玻璃基本就不导电，喷金要厚一点才行
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7楼2013-08-16 09:19:29
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闲人四百

金虫 (小有名气)
场发射扫描电镜用背散射电子成像，玻璃基底和薄膜的成像是不一样，可以看薄膜厚度。平时用的二次电子成像看起来差别不大。
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8楼2013-08-16 22:32:17
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gxytju2008

专家顾问 (文坛精英)
引用回帖:
8楼: Originally posted by 闲人四百 at 2013-08-16 22:32:17
场发射扫描电镜用背散射电子成像，玻璃基底和薄膜的成像是不一样，可以看薄膜厚度。平时用的二次电子成像看起来差别不大。

背散射的分辨率差很多的。。一般的薄膜和基底的结合都不会那么紧，应该能看到分界面的，总之能拍二次电子形貌还是二次电子，背散射可以作为辅助证据，或者开始照的时候做个参考，如果分不清界面的话
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9楼2013-08-16 22:43:55
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