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tom95064

新虫 (小有名气)

[求助] 用扫描电镜看薄膜截面时的基底影响问题求助

实验中用扫描电镜看薄膜截面时,玻璃基底不知怎的老是发亮光,而且聚焦时由于发生漂移而无法成功聚焦得到清晰的薄膜断面图像,而看到文献中报道的的薄膜器件截面图都很清晰,请问该问题是什么原因造成的?操作电镜或样品制备过程中如何避免呢?谢谢!
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gxytju2008

专家顾问 (文坛精英)

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8楼: Originally posted by 闲人四百 at 2013-08-16 22:32:17
场发射扫描电镜用背散射电子成像,玻璃基底和薄膜的成像是不一样,可以看薄膜厚度。平时用的二次电子成像看起来差别不大。

背散射的分辨率差很多的。。一般的薄膜和基底的结合都不会那么紧,应该能看到分界面的,总之能拍二次电子形貌还是二次电子,背散射可以作为辅助证据,或者开始照的时候做个参考,如果分不清界面的话
9楼2013-08-16 22:43:55
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gxytju2008

专家顾问 (文坛精英)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
tom95064: 金币+5, ★★★很有帮助 2013-08-15 17:35:27
发亮光?你喷金了么,还有玻璃和样品台要连起来,否则不导电不行的,不可能发亮光的一般,总之你要保证要看的面导电性够好,而且电流能导到样品台上
2楼2013-08-15 16:40:24
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tom95064

新虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by gxytju2008 at 2013-08-15 16:40:24
发亮光?你喷金了么,还有玻璃和样品台要连起来,否则不导电不行的,不可能发亮光的一般,总之你要保证要看的面导电性够好,而且电流能导到样品台上

谢谢回复。关于“发亮光”,我可能描述的不太准确,但我也不知道怎么描述好些,总之感觉玻璃部分发白色亮光。我的薄膜样品本身是半导体,因此没有喷金,看表面没有问题,很清晰,但截面就不行。我们观察截面时是将样品垂直放置即截面水平,实际还是测表面(将玻璃衬底一侧用双面胶垂直粘在样品台上的,胶带应该是导电胶带)。

如果按你说的电流需要导到样品台上,那恐怕我制样还是有问题,因为玻璃本身不导电。但是这样的话,为什么薄膜表面观察时却没问题呢,测表面时薄膜和导电胶之间也是隔着玻璃的啊,电流恐怕也不能传到样品台上。
3楼2013-08-15 17:00:49
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tom95064

新虫 (小有名气)

引用回帖:
3楼: Originally posted by tom95064 at 2013-08-15 17:00:49
谢谢回复。关于“发亮光”,我可能描述的不太准确,但我也不知道怎么描述好些,总之感觉玻璃部分发白色亮光。我的薄膜样品本身是半导体,因此没有喷金,看表面没有问题,很清晰,但截面就不行。我们观察截面时是将 ...

难道需要只在玻璃截面处喷上金吗?感觉这样很难操作啊,大家是怎样测试的呢?
4楼2013-08-15 17:03:03
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