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用扫描电镜看薄膜截面时的基底影响问题求助
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| 实验中用扫描电镜看薄膜截面时,玻璃基底不知怎的老是发亮光,而且聚焦时由于发生漂移而无法成功聚焦得到清晰的薄膜断面图像,而看到文献中报道的的薄膜器件截面图都很清晰,请问该问题是什么原因造成的?操作电镜或样品制备过程中如何避免呢?谢谢! |
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gxytju2008
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gxytju2008
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