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[求助]
求助，如何提高温度均匀性
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| 涉及过程是这样的，上层基板覆盖一层薄膜，下层为加热板，加热板上有许多细小孔洞，这些孔洞与真空设备相连接，通过抽真空将上层基板吸附下来对薄膜加热，问题是由于孔洞的存在，对基板的加热必然不均匀，我现在想知道有没有什么方法，可以使上层基板受热更均匀？我只想到延长加热时间这种办法，还请大家给予指导，任何想法于我都是有益的，谢谢！ |
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yswyx 
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2楼2013-08-05 11:30:20