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20090221167

铜虫 (初入文坛)

应助: 1 (幼儿园)
金币: 80
帖子: 13
在线: 35.9小时
虫号: 1391047
注册: 2011-09-05
性别: GG
专业: 能源化工

[求助] 求助，如何提高温度均匀性

涉及过程是这样的，上层基板覆盖一层薄膜，下层为加热板，加热板上有许多细小孔洞，这些孔洞与真空设备相连接，通过抽真空将上层基板吸附下来对薄膜加热，问题是由于孔洞的存在，对基板的加热必然不均匀，我现在想知道有没有什么方法，可以使上层基板受热更均匀？我只想到延长加热时间这种办法，还请大家给予指导，任何想法于我都是有益的，谢谢！

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我

1楼 2013-08-03 10:10:40

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

yswyx

专家顾问 (著名写手)

专家经验: +651
应助: 807 (博后)
贵宾: 0.204
金币: 2618.1
散金: 6018
红花: 112
帖子: 2705
在线: 577.8小时
虫号: 446878
注册: 2007-10-30
性别: GG
专业: 半导体微纳机电器件与系统
管辖: 微米和纳米

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
20090221167: 金币+5, ★★★很有帮助, 谢谢！ 2013-08-06 08:22:44

典型的真空热板，半导体领域常用。
要么真空孔足够小，要么基板足够厚。

2楼2013-08-05 11:30:20

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

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