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射频溅射 ZnS薄膜 反射功率 很大,怎么办呀
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| 各位虫友,我最近用射频溅射 ZnS薄膜, 结果 反射功率 很大,能起辉,也有自偏压,但就是基片 上没有 薄膜,怎么回事呀,求帮助! |
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【求助】射频溅射反射功率过高,不起辉,无自偏压
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dql52213
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3楼2013-09-30 10:42:30
2楼2013-09-27 09:11:27
dql52213
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4楼2013-09-30 10:43:40












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