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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 射频溅射 ZnS薄膜 反射功率 很大，怎么办呀
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163HXING

新虫 (小有名气)

[求助] 射频溅射 ZnS薄膜 反射功率 很大，怎么办呀

各位虫友，我最近用射频溅射 ZnS薄膜， 结果  反射功率 很大，能起辉，也有自偏压，但就是基片 上没有 薄膜，怎么回事呀，求帮助！
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1楼 2013-08-01 17:20:52
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BOBOLI11

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

可能如下：
   1、气压不对或气体不对，射频不能充分放电，反射功率会大。
   2、匹配器坏了。
   3、其他的如射频连接线等。

我们上次是向溢达兴申请免费的SMITCH（SMITH）射频电源替换测试，发现是匹配器故障。
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2楼2013-09-27 09:11:27
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dql52213

铜虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

如果调电容调不下来，那可能真是射频的问题了。
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科学这个东西实在是。。。。。。
3楼2013-09-30 10:42:30
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dql52213

铜虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

也不排除是氩气不够了
赞一下 回复此楼
科学这个东西实在是。。。。。。
4楼2013-09-30 10:43:40
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