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163HXING

新虫 (小有名气)

[求助] 射频溅射 ZnS薄膜 反射功率 很大,怎么办呀

各位虫友,我最近用射频溅射 ZnS薄膜, 结果  反射功率 很大,能起辉,也有自偏压,但就是基片 上没有 薄膜,怎么回事呀,求帮助!
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BOBOLI11

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

可能如下:
   1、气压不对或气体不对,射频不能充分放电,反射功率会大。
   2、匹配器坏了。
   3、其他的如射频连接线等。

我们上次是向溢达兴申请免费的SMITCH(SMITH)射频电源替换测试,发现是匹配器故障。
2楼2013-09-27 09:11:27
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dql52213

铜虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

如果调电容调不下来,那可能真是射频的问题了。
科学这个东西实在是。。。。。。
3楼2013-09-30 10:42:30
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dql52213

铜虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

也不排除是氩气不够了
科学这个东西实在是。。。。。。
4楼2013-09-30 10:43:40
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