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thermoelectric木虫 (小有名气)
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如何得到大厚度均匀性好的光刻胶掩膜
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| 现在在做深硅刻蚀，但是设备的选择比相对较小，所以想加大胶的厚度，4-5微米，请问该怎么选择胶和对应的旋涂工艺才能保证胶的均匀性。先不用考虑胶分辨率的问题。 |
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