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椭偏移测厚度的问题
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我使用的样品是以重掺杂的4H-SiC作为衬底，衬底上面由CVD沉积了12μm的4H-SiC薄膜，在此基础上，又长了20nm左右的Al2O3. 我用椭偏移测量了Al2O3的厚度，测试曲线如图所示，在700到800nm之间出现了不同强度的振荡，请问这是什么原因造成的，对测量结果有影响吗？ 2013-07-17-as deposited.png |
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3楼2016-03-27 07:55:46
szzpanda
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