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椭偏移测厚度的问题
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我使用的样品是以重掺杂的4H-SiC作为衬底,衬底上面由CVD沉积了12μm的4H-SiC薄膜,在此基础上,又长了20nm左右的Al2O3. 我用椭偏移测量了Al2O3的厚度,测试曲线如图所示,在700到800nm之间出现了不同强度的振荡,请问这是什么原因造成的,对测量结果有影响吗? 2013-07-17-as deposited.png |
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