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寂寞流年

新虫 (小有名气)

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[求助] 椭偏移测厚度的问题

我使用的样品是以重掺杂的4H-SiC作为衬底，衬底上面由CVD沉积了12μm的4H-SiC薄膜，在此基础上，又长了20nm左右的Al2O3. 我用椭偏移测量了Al2O3的厚度，测试曲线如图所示，在700到800nm之间出现了不同强度的振荡，请问这是什么原因造成的，对测量结果有影响吗？

2013-07-17-as deposited.png

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1楼 2013-07-17 16:04:23

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szzpanda

木虫 (正式写手)

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专业: 催化化学

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
寂寞流年: 金币+5, ★有帮助, 好的，谢谢，我再看一下相关的东西，不懂的问题再请教 2013-07-19 11:04:09

应该是干涉造成的。。。从材料厚度和波长大小入手比较下吧。。这个情况我们遇到过

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2楼2013-07-19 10:03:54

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谭走鱼尾纹

新虫 (初入文坛)

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注册: 2016-03-27

这个计算厚度的代码是什么程序的？可以分享一下吗

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]

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3楼2016-03-27 07:55:46

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