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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 金属 » 热处理 » 金属W表面氧化如何去除？
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huanghuolin

木虫 (小有名气)

[求助] 金属W表面氧化如何去除？

请教各位虫友，电子束蒸发金属W以后，进行RTA高温退火，在氮气保护下，但是发现W表面似乎有氧化层，探针电极搭在上面，金属近乎绝缘，怀疑表面被氧化了，请假如何去除这一氧化层，用HF可以吗？谢谢
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飞鸽
1楼 2013-07-10 11:12:07
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huanghuolin

木虫 (小有名气)
各位XDJM, 有了解情况的吗？
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飞鸽
2楼2013-07-15 01:04:28
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kikumaru

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
huanghuolin: 金币+5, ★★★很有帮助 2013-07-17 23:56:42
你可以用BOE去试试看，或者盐酸试试，很多金属或氧化物都可以腐蚀的。
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且行且分析
3楼2013-07-15 10:21:43
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cmh09

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★
huanghuolin: 金币+3, ★★★很有帮助 2013-07-17 23:58:23
高温退火可以用氮气和氢气混合气体吗，有氢气的纯在应会防止钨氧化。
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4楼2013-07-15 17:23:47
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xueqj

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★
huanghuolin: 金币+3, ★★★很有帮助 2013-07-17 23:58:49
钨的高温退火必须用还原性气氛，最好是高纯氢气。
尽量不要用氮气或者真空气氛对钨进行高温处理。

钨的氧化物用普通的酸很难清除，
用热酸或者次氯酸钠溶液煮一阵子可以去除表面氧化物
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5楼2013-07-15 23:11:51
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hotday

金虫 (著名写手)

合金粉末工程师

【答案】应助回帖

★ ★ ★
huanghuolin: 金币+3, ★★★很有帮助 2013-07-17 23:59:10
表面是否有绿色，用氢气还原可以~
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活着，就是向圣贤和傻瓜学习
6楼2013-07-16 14:17:39
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huanghuolin

木虫 (小有名气)
引用回帖:
6楼: Originally posted by hotday at 2013-07-16 14:17:39
表面是否有绿色，用氢气还原可以~

请教表面绿色与否说明什么问题呢？能用RIE离子打吗？
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飞鸽
7楼2013-07-18 00:02:07
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hotday

金虫 (著名写手)

合金粉末工程师

【答案】应助回帖

引用回帖:
7楼: Originally posted by huanghuolin at 2013-07-18 00:02:07
请教表面绿色与否说明什么问题呢？能用RIE离子打吗？...

我们这做的钨棒放时间长了表面就会有绿色，我们一般就氢还原，离子刻蚀没试过~
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活着，就是向圣贤和傻瓜学习
8楼2013-07-18 08:30:58
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