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huanghuolin木虫 (小有名气)
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金属W表面氧化如何去除?
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| 请教各位虫友,电子束蒸发金属W以后,进行RTA高温退火,在氮气保护下,但是发现W表面似乎有氧化层,探针电极搭在上面,金属近乎绝缘,怀疑表面被氧化了,请假如何去除这一氧化层,用HF可以吗?谢谢 |
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cmh09
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