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huanghuolin

木虫 (小有名气)

[求助] 金属W表面氧化如何去除?

请教各位虫友,电子束蒸发金属W以后,进行RTA高温退火,在氮气保护下,但是发现W表面似乎有氧化层,探针电极搭在上面,金属近乎绝缘,怀疑表面被氧化了,请假如何去除这一氧化层,用HF可以吗?谢谢
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飞鸽
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huanghuolin

木虫 (小有名气)

引用回帖:
6楼: Originally posted by hotday at 2013-07-16 14:17:39
表面是否有绿色,用氢气还原可以~

请教表面绿色与否说明什么问题呢?能用RIE离子打吗?
飞鸽
7楼2013-07-18 00:02:07
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查看全部 8 个回答

huanghuolin

木虫 (小有名气)

各位XDJM, 有了解情况的吗?
飞鸽
2楼2013-07-15 01:04:28
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kikumaru

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
huanghuolin: 金币+5, ★★★很有帮助 2013-07-17 23:56:42
你可以用BOE去试试看,或者盐酸试试,很多金属或氧化物都可以腐蚀的。
且行且分析
3楼2013-07-15 10:21:43
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cmh09

金虫 (正式写手)


【答案】应助回帖

★ ★ ★
huanghuolin: 金币+3, ★★★很有帮助 2013-07-17 23:58:23
高温退火可以用氮气和氢气混合气体吗,有氢气的纯在应会防止钨氧化。
4楼2013-07-15 17:23:47
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