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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 金属 » 热处理 » 金属W表面氧化如何去除？
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huanghuolin

木虫 (小有名气)

[求助] 金属W表面氧化如何去除？

请教各位虫友，电子束蒸发金属W以后，进行RTA高温退火，在氮气保护下，但是发现W表面似乎有氧化层，探针电极搭在上面，金属近乎绝缘，怀疑表面被氧化了，请假如何去除这一氧化层，用HF可以吗？谢谢
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飞鸽
1楼 2013-07-10 11:12:07
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huanghuolin

木虫 (小有名气)
引用回帖:
6楼: Originally posted by hotday at 2013-07-16 14:17:39
表面是否有绿色，用氢气还原可以~

请教表面绿色与否说明什么问题呢？能用RIE离子打吗？
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飞鸽
7楼2013-07-18 00:02:07
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huanghuolin

木虫 (小有名气)
各位XDJM, 有了解情况的吗？
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飞鸽
2楼2013-07-15 01:04:28
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kikumaru

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
huanghuolin: 金币+5, ★★★很有帮助 2013-07-17 23:56:42
你可以用BOE去试试看，或者盐酸试试，很多金属或氧化物都可以腐蚀的。
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且行且分析
3楼2013-07-15 10:21:43
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cmh09

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★
huanghuolin: 金币+3, ★★★很有帮助 2013-07-17 23:58:23
高温退火可以用氮气和氢气混合气体吗，有氢气的纯在应会防止钨氧化。
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4楼2013-07-15 17:23:47
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