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arline7419

木虫 (正式写手)

小学生

[求助] 叉指电极加工

请问哪里可以加工20微米以下或纳米尺寸的叉指电极啊,我们这里只能加工20微米以上的,20微米以下的,加工就不行了,由于科研的需要,我们想做到间距更小的叉指电极。我是搞传感的,请知道的朋友告诉我一下,谢谢!
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寂寞的心
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arline7419

木虫 (正式写手)

小学生

supernatural: 编辑内容 2013-12-17 10:03
supernatural: 本版不允许留下联系方式,如需联系,请站内,已编辑 2013-12-17 10:04:09
引用回帖:
14楼: Originally posted by xmji at 2013-07-09 10:03:29
02年的时候我们做过 好像是10左右的 不知道样品还有没有
这个不难啊 光刻+溅射
不知道 你对衬底 材料 厚度都有什么要求
大于3um的都很容易做啊
小于1的话 一般的光刻刻不了
需要到fab或是EBM 也就比较贵了

你好,可以加你的QQ吗?站内告诉

[ Last edited by supernatural on 2013-12-17 at 10:03 ]
寂寞的心
15楼2013-07-09 16:08:15
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lijidong

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖


感谢参与,应助指数 +1
arline7419: 金币+1, 有帮助 2013-07-07 10:23:41
我用的是叉指金电极,也是用来做传感的,间距就不知道是不是20U以下了
2楼2013-07-07 09:52:40
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arline7419

木虫 (正式写手)

小学生

引用回帖:
2楼: Originally posted by lijidong at 2013-07-07 09:52:40
我用的是叉指金电极,也是用来做传感的,间距就不知道是不是20U以下了

可以测试一下嘛
寂寞的心
3楼2013-07-07 10:23:56
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underdog-82

铁虫 (小有名气)

你们用什么技术 能做20微米的却不能做更小的?

  一般的接触式曝光机就可以做到了吧
4楼2013-07-07 22:49:49
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