24小时热门版块排行榜    

Znn3bq.jpeg
查看: 1671  |  回复: 17

arline7419

木虫 (正式写手)

小学生

[求助] 叉指电极加工

请问哪里可以加工20微米以下或纳米尺寸的叉指电极啊,我们这里只能加工20微米以上的,20微米以下的,加工就不行了,由于科研的需要,我们想做到间距更小的叉指电极。我是搞传感的,请知道的朋友告诉我一下,谢谢!
回复此楼
寂寞的心
已阅   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
回帖支持 ( 显示支持度最高的前 50 名 )

xmji

铁杆木虫 (小有名气)

02年的时候我们做过 好像是10左右的 不知道样品还有没有
这个不难啊 光刻+溅射
不知道 你对衬底 材料 厚度都有什么要求
大于3um的都很容易做啊
小于1的话 一般的光刻刻不了
需要到fab或是EBM 也就比较贵了
14楼2013-07-09 10:03:29
已阅   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
普通回帖

lijidong

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖


感谢参与,应助指数 +1
arline7419: 金币+1, 有帮助 2013-07-07 10:23:41
我用的是叉指金电极,也是用来做传感的,间距就不知道是不是20U以下了
2楼2013-07-07 09:52:40
已阅   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

arline7419

木虫 (正式写手)

小学生

引用回帖:
2楼: Originally posted by lijidong at 2013-07-07 09:52:40
我用的是叉指金电极,也是用来做传感的,间距就不知道是不是20U以下了

可以测试一下嘛
寂寞的心
3楼2013-07-07 10:23:56
已阅   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

underdog-82

铁虫 (小有名气)

你们用什么技术 能做20微米的却不能做更小的?

  一般的接触式曝光机就可以做到了吧
4楼2013-07-07 22:49:49
已阅   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

arline7419

木虫 (正式写手)

小学生

溅射,光刻机刻蚀
寂寞的心
5楼2013-07-08 00:21:53
已阅   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

quanten

金虫 (著名写手)

QQ群(NW-FET): 157220400


【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
using EBL can go to 50nm resolution
6楼2013-07-08 05:11:33
已阅   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

quanten

金虫 (著名写手)

QQ群(NW-FET): 157220400


【答案】应助回帖

or nanoimprint lithgrophy with high resolution
7楼2013-07-08 05:20:16
已阅   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

CruiserD

至尊木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
20微米...没懂为啥是这个尺度。
在京的话就找清华纳米中心联系加工,精度很好。
以前我们的插指电极和其它外形奇怪的电极都在那里做的。
卢瑟·西门罗夫同志
8楼2013-07-08 14:39:13
已阅   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

读书湖朱哥

新虫 (初入文坛)

再小的话就要用溅射微加工工艺做了吧,这个估计要自己联系研究所作!
你做的叉指电极是用什么工艺,卖吗?
9楼2013-07-08 15:31:39
已阅   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

读书湖朱哥

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
9楼: Originally posted by 读书湖朱哥 at 2013-07-08 15:31:39
再小的话就要用溅射微加工工艺做了吧,这个估计要自己联系研究所作!
你做的叉指电极是用什么工艺,卖吗?

你就是用溅射做的啊,不好意思,没看到上面的帖子。
10楼2013-07-08 15:35:19
已阅   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 arline7419 的主题更新
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 291分调剂 +9 上岸小莹加油 2026-04-09 10/500 2026-04-15 13:00 by 西北望—风沙
[考研] 一志愿中国科学院上海有机所,有机化学356分找调剂 +12 Nadiums 2026-04-09 13/650 2026-04-14 17:54 by lhj2009
[考研] 08工学 309分求调剂 +12 Yin DY 2026-04-08 12/600 2026-04-14 17:49 by lhj2009
[考研] 367求调剂 +11 hffQAQ 2026-04-09 11/550 2026-04-14 17:48 by lhj2009
[考研] 求调剂 +20 MAX怅惘 2026-04-09 22/1100 2026-04-14 14:57 by 独醉梦孤城
[考研] 085408光电信息工程专硕355一志愿长春光机所调剂 +6 王ymaa 2026-04-13 13/650 2026-04-14 11:33 by 王ymaa
[考研] 考研求调剂 +12 子木呐 2026-04-12 13/650 2026-04-14 01:19 by 王珺璞
[考研] 346分,工科0854求调剂,专硕 +6 moser233 2026-04-12 7/350 2026-04-12 22:11 by fqwang
[考研] 322求调剂 +6 123安康 2026-04-12 13/650 2026-04-12 15:51 by 123安康
[考研] 本科南方医科大学 一志愿985 药学学硕284分 求调剂 +5 弱水听文 2026-04-09 5/250 2026-04-12 13:16 by shengxi123
[考研] 326求调剂 +6 Shansyn 2026-04-10 6/300 2026-04-12 09:46 by hammer3
[考研] 材料与化工300求调剂 +39 肖开文 2026-04-09 43/2150 2026-04-12 01:30 by 秋豆菜芽
[考研] 农业管理302分求调剂 +3 xuening1 2026-04-10 3/150 2026-04-11 10:18 by zhq0425
[考研] 085506-求调剂-285分 +3 雷欧飞踢 2026-04-08 3/150 2026-04-11 08:37 by zhq0425
[考研] 368求调剂 +3 17385968172 2026-04-10 3/150 2026-04-10 20:12 by 电子奥德彪
[考研] 301求调剂 +5 149. 2026-04-10 5/250 2026-04-10 15:45 by 柴小白
[考研] 本科西工大 0856 324求调剂 +10 wysyjs25 2026-04-09 11/550 2026-04-10 08:37 by 5268321
[考研] 337求调剂 +4 Gky09300550, 2026-04-09 4/200 2026-04-09 17:18 by 帕尔马拉特
[考研] 083200 初试305分 求调剂 暂不考虑跨专业 +15 Claireyyyy 2026-04-09 15/750 2026-04-09 16:11 by zhuimr
[考研] 0860004 求调剂 309分 +6 Yin DY 2026-04-09 6/300 2026-04-09 10:19 by 啊李999
信息提示
请填处理意见