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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳器件 » 叉指电极加工
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东风燕

铜虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与，应助指数 +1
arline7419: 金币+2, ★有帮助, 很有用，但没有完全解决我的问题哟，不好意思我小气了点哟！ 2013-07-08 21:40:40
掩模板可以考虑一下深圳的路维光电，他们的最小线宽能做到1微米，前段时间刚做的，还可以，大概四英寸的就1000左右吧

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
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东风燕
11楼2013-07-08 18:23:59
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东风燕

铜虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★
arline7419: 金币+2, ★有帮助 2013-07-08 21:41:40
至于器件制作的问题，关键是光刻的时间确定。采用不同的匀胶速度就会得到不同厚度的胶层，通过紫外式接触式曝光就需要不同的光刻时间，曝光不足会导致去胶时溅射的图形被超声掉，过曝光会导致精度太差，难以保证指条的尺寸，至于溅射采用多靶材的磁控溅射系统就可以

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
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东风燕
12楼2013-07-08 18:31:18
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arline7419

木虫 (正式写手)

小学生
supernatural: 编辑内容 2013-12-17 10:03
supernatural: 本版不允许留下联系方式，如需联系，请站内，已编辑 2013-12-17 10:03:37
引用回帖:
12楼: Originally posted by 东风燕 at 2013-07-08 18:31:18
至于器件制作的问题，关键是光刻的时间确定。采用不同的匀胶速度就会得到不同厚度的胶层，通过紫外式接触式曝光就需要不同的光刻时间，曝光不足会导致去胶时溅射的图形被超声掉，过曝光会导致精度太差，难以保证指条 ...

您好，可以加您的QQ吗？可以站内告诉我

[ Last edited by supernatural on 2013-12-17 at 10:03 ]
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寂寞的心
13楼2013-07-08 21:42:22
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xmji

铁杆木虫 (小有名气)
02年的时候我们做过 好像是10左右的 不知道样品还有没有
这个不难啊 光刻+溅射
不知道 你对衬底 材料 厚度都有什么要求
大于3um的都很容易做啊
小于1的话 一般的光刻刻不了
需要到fab或是EBM 也就比较贵了
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14楼2013-07-09 10:03:29
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arline7419

木虫 (正式写手)

小学生
supernatural: 编辑内容 2013-12-17 10:03
supernatural: 本版不允许留下联系方式，如需联系，请站内，已编辑 2013-12-17 10:04:09
引用回帖:
14楼: Originally posted by xmji at 2013-07-09 10:03:29
02年的时候我们做过 好像是10左右的 不知道样品还有没有
这个不难啊 光刻+溅射
不知道 你对衬底 材料 厚度都有什么要求
大于3um的都很容易做啊
小于1的话 一般的光刻刻不了
需要到fab或是EBM 也就比较贵了

你好，可以加你的QQ吗？站内告诉

[ Last edited by supernatural on 2013-12-17 at 10:03 ]
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寂寞的心
15楼2013-07-09 16:08:15
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diaokaidi

木虫 (正式写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by lijidong at 2013-07-07 09:52:40
我用的是叉指金电极，也是用来做传感的，间距就不知道是不是20U以下了

请问一下，你用的叉指电极是自己做的还是购买的？我实验中要用到这种电极，谢谢！
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16楼2013-12-16 22:02:42
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arline7419

木虫 (正式写手)

小学生
supernatural: 编辑内容 2013-12-17 10:05
supernatural: 本版不允许留下联系方式，如需联系，请站内，已编辑 2013-12-17 10:05:05
加我的QQ吧！站内告知

[ Last edited by supernatural on 2013-12-17 at 10:05 ]
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寂寞的心
17楼2013-12-17 00:59:31
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arline7419

木虫 (正式写手)

小学生
supernatural: 编辑内容 2013-12-17 10:04
supernatural: 本版不允许留下联系方式，如需联系，请站内，已编辑 2013-12-17 10:04:48
引用回帖:
16楼: Originally posted by diaokaidi at 2013-12-16 22:02:42
请问一下，你用的叉指电极是自己做的还是购买的？我实验中要用到这种电极，谢谢！...

加我的QQ，站内告知

[ Last edited by supernatural on 2013-12-17 at 10:04 ]
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寂寞的心
18楼2013-12-17 00:59:51
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