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arline7419

木虫 (正式写手)

小学生

[求助] 叉指电极加工

请问哪里可以加工20微米以下或纳米尺寸的叉指电极啊,我们这里只能加工20微米以上的,20微米以下的,加工就不行了,由于科研的需要,我们想做到间距更小的叉指电极。我是搞传感的,请知道的朋友告诉我一下,谢谢!
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寂寞的心
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东风燕

铜虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★
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arline7419: 金币+2, 有帮助, 很有用,但没有完全解决我的问题哟,不好意思我小气了点哟! 2013-07-08 21:40:40
掩模板可以考虑一下深圳的路维光电,他们的最小线宽能做到1微米,前段时间刚做的,还可以,大概四英寸的就1000左右吧

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
东风燕
11楼2013-07-08 18:23:59
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东风燕

铜虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★
arline7419: 金币+2, 有帮助 2013-07-08 21:41:40
至于器件制作的问题,关键是光刻的时间确定。采用不同的匀胶速度就会得到不同厚度的胶层,通过紫外式接触式曝光就需要不同的光刻时间,曝光不足会导致去胶时溅射的图形被超声掉,过曝光会导致精度太差,难以保证指条的尺寸,至于溅射采用多靶材的磁控溅射系统就可以

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
东风燕
12楼2013-07-08 18:31:18
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