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arline7419

木虫 (正式写手)

小学生

[求助] 叉指电极加工

请问哪里可以加工20微米以下或纳米尺寸的叉指电极啊,我们这里只能加工20微米以上的,20微米以下的,加工就不行了,由于科研的需要,我们想做到间距更小的叉指电极。我是搞传感的,请知道的朋友告诉我一下,谢谢!
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寂寞的心
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xmji

铁杆木虫 (小有名气)

02年的时候我们做过 好像是10左右的 不知道样品还有没有
这个不难啊 光刻+溅射
不知道 你对衬底 材料 厚度都有什么要求
大于3um的都很容易做啊
小于1的话 一般的光刻刻不了
需要到fab或是EBM 也就比较贵了
14楼2013-07-09 10:03:29
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普通回帖

lijidong

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖


感谢参与,应助指数 +1
arline7419: 金币+1, 有帮助 2013-07-07 10:23:41
我用的是叉指金电极,也是用来做传感的,间距就不知道是不是20U以下了
2楼2013-07-07 09:52:40
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arline7419

木虫 (正式写手)

小学生

引用回帖:
2楼: Originally posted by lijidong at 2013-07-07 09:52:40
我用的是叉指金电极,也是用来做传感的,间距就不知道是不是20U以下了

可以测试一下嘛
寂寞的心
3楼2013-07-07 10:23:56
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underdog-82

铁虫 (小有名气)

你们用什么技术 能做20微米的却不能做更小的?

  一般的接触式曝光机就可以做到了吧
4楼2013-07-07 22:49:49
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arline7419

木虫 (正式写手)

小学生

溅射,光刻机刻蚀
寂寞的心
5楼2013-07-08 00:21:53
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quanten

金虫 (著名写手)

QQ群(NW-FET): 157220400


【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
using EBL can go to 50nm resolution
6楼2013-07-08 05:11:33
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quanten

金虫 (著名写手)

QQ群(NW-FET): 157220400


【答案】应助回帖

or nanoimprint lithgrophy with high resolution
7楼2013-07-08 05:20:16
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CruiserD

至尊木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
20微米...没懂为啥是这个尺度。
在京的话就找清华纳米中心联系加工,精度很好。
以前我们的插指电极和其它外形奇怪的电极都在那里做的。
卢瑟·西门罗夫同志
8楼2013-07-08 14:39:13
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读书湖朱哥

新虫 (初入文坛)

再小的话就要用溅射微加工工艺做了吧,这个估计要自己联系研究所作!
你做的叉指电极是用什么工艺,卖吗?
9楼2013-07-08 15:31:39
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读书湖朱哥

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
9楼: Originally posted by 读书湖朱哥 at 2013-07-08 15:31:39
再小的话就要用溅射微加工工艺做了吧,这个估计要自己联系研究所作!
你做的叉指电极是用什么工艺,卖吗?

你就是用溅射做的啊,不好意思,没看到上面的帖子。
10楼2013-07-08 15:35:19
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