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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳器件 » 叉指电极加工
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arline7419

木虫 (正式写手)

小学生

[求助] 叉指电极加工

请问哪里可以加工20微米以下或纳米尺寸的叉指电极啊，我们这里只能加工20微米以上的，20微米以下的，加工就不行了，由于科研的需要，我们想做到间距更小的叉指电极。我是搞传感的，请知道的朋友告诉我一下，谢谢！
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寂寞的心
1楼 2013-07-07 00:51:15
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underdog-82

铁虫 (小有名气)
你们用什么技术 能做20微米的却不能做更小的？

  一般的接触式曝光机就可以做到了吧
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4楼2013-07-07 22:49:49
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lijidong

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★
感谢参与，应助指数 +1
arline7419: 金币+1, ★有帮助 2013-07-07 10:23:41
我用的是叉指金电极，也是用来做传感的，间距就不知道是不是20U以下了
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2楼2013-07-07 09:52:40
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arline7419

木虫 (正式写手)

小学生
引用回帖:
2楼: Originally posted by lijidong at 2013-07-07 09:52:40
我用的是叉指金电极，也是用来做传感的，间距就不知道是不是20U以下了

可以测试一下嘛
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寂寞的心
3楼2013-07-07 10:23:56
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arline7419

木虫 (正式写手)

小学生
溅射，光刻机刻蚀
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寂寞的心
5楼2013-07-08 00:21:53
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