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xiongnr

铁杆木虫 (著名写手)

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[交流] 请问化学气相沉积和物理气相沉积有何区别？越详细越好啊已有5人参与

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请问化学气相沉积和物理气相沉积有何区别？越详细越好啊
谢谢

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1楼 2013-07-04 00:16:18

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windyswust

木虫 (著名写手)

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英文上CVD和PVD的区别常见PVD有分子束外延，电子束蒸度，磁控溅射等等，最根本的就是沉积的时间是否发生了化学变化，如果生产新的物质自然是CVD。一般CVD是通过热的或者等离子的外力，使分子裂解成碎片气源，然后在基地上发生化学反应，沉积到基地上。而PVD就简单了，就是通过RF,EB，等等把基地靶材打出分子，原子，然后沉积到基地物质上，是个简单的物理过程。如常见的磁控溅射吧，就是通过射频等离子打到靶材上，然后沉积成纳米厚的薄膜层。个人愚见，仅供参考