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电子束热蒸发通常沉积金属氧化物
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电子束热蒸发通常沉积金属氧化物
电子束热蒸发通常沉积金属氧化物,为什么不能沉积金属那?
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1楼
2013-07-03 18:48:23
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7楼
:
Originally posted by
zhangxqustc
at 2014-11-11 23:37:48
您好!请问你们用的电子束热蒸发设备是哪家公司的啊?...
同问,楼主电子束蒸发的设备是哪里买的啊?
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8楼
2014-11-11 23:11:05
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【答案】应助回帖
感谢参与,应助指数 +1
谁说的不能沉积金属。我们这里金、Ti、Al什么的,都是用电子束蒸发的。
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2楼
2013-07-06 16:02:37
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专业: 半导体微纳机电器件与系统
【答案】应助回帖
电子束顾名思义就是用电子束轰击靶材,使其产生高位继而汽化蒸发的,在超高真空腔中,这些汽化的材料遇到新的界面重新聚集形成新的膜层材料,所以金属材料也可以被沉积---除非某台设备因为怕交叉污染而只生长一种材料
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寻求IDEA
3楼
2013-07-06 16:05:19
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2楼
:
Originally posted by
peiwhpeiwh
at 2013-07-06 16:02:37
谁说的不能沉积金属。我们这里金、Ti、Al什么的,都是用电子束蒸发的。
兄台您好!有个审稿专家提了意见 “作者谈到使用电子束热蒸发的方法沉积金属表述有误,电子束热蒸发通常沉积金属氧化物”,让我怎么回答啊?请先生教我!
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4楼
2013-07-09 10:34:09
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