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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 电工材料 » 电子束热蒸发通常沉积金属氧化物
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646149290

银虫 (小有名气)

[求助] 电子束热蒸发通常沉积金属氧化物

电子束热蒸发通常沉积金属氧化物，为什么不能沉积金属那？
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1楼 2013-07-03 18:48:23
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646149290

银虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by peiwhpeiwh at 2013-07-06 16:02:37
谁说的不能沉积金属。我们这里金、Ti、Al什么的，都是用电子束蒸发的。

兄台您好！有个审稿专家提了意见 “作者谈到使用电子束热蒸发的方法沉积金属表述有误，电子束热蒸发通常沉积金属氧化物”，让我怎么回答啊？请先生教我！
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4楼2013-07-09 10:34:09
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peiwhpeiwh

铁虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
谁说的不能沉积金属。我们这里金、Ti、Al什么的，都是用电子束蒸发的。
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寻求IDEA
2楼2013-07-06 16:02:37
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peiwhpeiwh

铁虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

电子束顾名思义就是用电子束轰击靶材，使其产生高位继而汽化蒸发的，在超高真空腔中，这些汽化的材料遇到新的界面重新聚集形成新的膜层材料，所以金属材料也可以被沉积---除非某台设备因为怕交叉污染而只生长一种材料
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寻求IDEA
3楼2013-07-06 16:05:19
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646149290

银虫 (小有名气)
引用回帖:
3楼: Originally posted by peiwhpeiwh at 2013-07-06 16:05:19
电子束顾名思义就是用电子束轰击靶材，使其产生高位继而汽化蒸发的，在超高真空腔中，这些汽化的材料遇到新的界面重新聚集形成新的膜层材料，所以金属材料也可以被沉积---除非某台设备因为怕交叉污染而只生长一种材 ...

兄台您好！有个审稿专家提了意见 “作者谈到使用电子束热蒸发的方法沉积金属表述有误，电子束热蒸发通常沉积金属氧化物”，让我怎么回答啊？请先生教我！
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5楼2013-07-09 10:35:44
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