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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 专业学科区 » 物理 » 原子、分子&光学 » 激光直写技术最小能刻到多细
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xx4751

铜虫 (正式写手)

[求助] 激光直写技术最小能刻到多细

请问一下现在激光直写技术最小能刻到多细，100nm能达到吗？哪个地方有这种设备。谢谢
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1楼 2013-07-02 20:50:33
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回帖支持 ( 显示支持度最高的前 50 名 )

uvwxmc

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
华丽的飘过: 金币+2, 3q 2013-07-03 03:24:21
xx4751: 金币+10, ★有帮助 2013-07-10 19:13:55
可见光最短波长是390nm，怎么可能聚焦到100nm呢。
为啥要求‘直写’呢？直写精度不只是焦斑直径的问题，还有扫描精度问题。
光刻实现100nm级别以下的图形精度，都得用短波长波束，X光，深紫外，电子束等等。
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2楼2013-07-02 23:28:48
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Apple.D.

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
华丽的飘过: 金币+3, 3q 2013-07-09 01:59:02
可以实现，通过目前光刻可以做到的特征尺寸可以达到27nm，通过激光干涉光刻的方法做到100nm不是问题，但是通常使用的激光器属于短波段激光器，如355,266,193等等。
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4楼2013-07-03 09:07:41
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普通回帖

xx4751

铜虫 (正式写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by uvwxmc at 2013-07-02 23:28:48
可见光最短波长是390nm，怎么可能聚焦到100nm呢。
为啥要求‘直写’呢？直写精度不只是焦斑直径的问题，还有扫描精度问题。
光刻实现100nm级别以下的图形精度，都得用短波长波束，X光，深紫外，电子束等等。

你好，谢谢你的回答，其实这方面我也不懂，我是想在一个材料上刻出100nm的一个长条，不知道能不能实现，如何实现？谢谢
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3楼2013-07-03 08:28:36
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xx4751

铜虫 (正式写手)
引用回帖:
4楼: Originally posted by Apple.D. at 2013-07-03 09:07:41
可以实现，通过目前光刻可以做到的特征尺寸可以达到27nm，通过激光干涉光刻的方法做到100nm不是问题，但是通常使用的激光器属于短波段激光器，如355,266,193等等。

请问一下，现在哪个地方有仪器可以做到，谢谢
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5楼2013-07-03 10:22:09
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xx4751

铜虫 (正式写手)
引用回帖:
4楼: Originally posted by Apple.D. at 2013-07-03 09:07:41
可以实现，通过目前光刻可以做到的特征尺寸可以达到27nm，通过激光干涉光刻的方法做到100nm不是问题，但是通常使用的激光器属于短波段激光器，如355,266,193等等。

需要掩膜板吗？
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6楼2013-07-03 10:24:19
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uvwxmc

金虫 (正式写手)
★
华丽的飘过: 金币+1, 3q 2013-07-18 01:13:16
引用回帖:
3楼: Originally posted by xx4751 at 2013-07-03 08:28:36
你好，谢谢你的回答，其实这方面我也不懂，我是想在一个材料上刻出100nm的一个长条，不知道能不能实现，如何实现？谢谢...

你说100nm的长条，是宽度100nm，长度x；还是宽度y nm，长度100nm？
是要刻槽，还是凸起？高度或者深度多少？材料是什么材料？单条还是多条或者图形；单件，少件，还是多件；预算多少？有何其他要求，例如精度，表面处理，缺陷控制等等。这些问题都回答了，任务才算比较明确。
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7楼2013-07-03 13:50:23
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Apple.D.

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

引用回帖:
6楼: Originally posted by xx4751 at 2013-07-03 10:24:19
需要掩膜板吗？...

直接刻蚀不需要掩膜板，七楼问的很有道理，100nm是什么的长度，是条纹的周期吗？
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8楼2013-07-03 15:22:28
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Apple.D.

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

引用回帖:
5楼: Originally posted by xx4751 at 2013-07-03 10:22:09
请问一下，现在哪个地方有仪器可以做到，谢谢...

长春理工大学有个纳米测量与制造技术实验室就能做
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9楼2013-07-03 15:23:27
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xx4751

铜虫 (正式写手)
引用回帖:
8楼: Originally posted by Apple.D. at 2013-07-03 15:22:28
直接刻蚀不需要掩膜板，七楼问的很有道理，100nm是什么的长度，是条纹的周期吗？...

不是周期条纹，就一条，也不需要多长
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10楼2013-07-04 21:41:25
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