应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 专业学科区 » 物理 » 原子、分子&光学 » 激光直写技术最小能刻到多细
51/1返回列表
查看: 2666  |  回复: 15
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看
当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖

xx4751

铜虫 (正式写手)

[求助] 激光直写技术最小能刻到多细

请问一下现在激光直写技术最小能刻到多细，100nm能达到吗？哪个地方有这种设备。谢谢
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
1楼 2013-07-02 20:50:33
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

Apple.D.

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

引用回帖:
6楼: Originally posted by xx4751 at 2013-07-03 10:24:19
需要掩膜板吗？...

直接刻蚀不需要掩膜板，七楼问的很有道理，100nm是什么的长度，是条纹的周期吗？
赞一下 回复此楼
8楼2013-07-03 15:22:28
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 16 个回答

uvwxmc

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
华丽的飘过: 金币+2, 3q 2013-07-03 03:24:21
xx4751: 金币+10, ★有帮助 2013-07-10 19:13:55
可见光最短波长是390nm，怎么可能聚焦到100nm呢。
为啥要求‘直写’呢？直写精度不只是焦斑直径的问题，还有扫描精度问题。
光刻实现100nm级别以下的图形精度，都得用短波长波束，X光，深紫外，电子束等等。
赞一下(1人) 回复此楼
2楼2013-07-02 23:28:48
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

xx4751

铜虫 (正式写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by uvwxmc at 2013-07-02 23:28:48
可见光最短波长是390nm，怎么可能聚焦到100nm呢。
为啥要求‘直写’呢？直写精度不只是焦斑直径的问题，还有扫描精度问题。
光刻实现100nm级别以下的图形精度，都得用短波长波束，X光，深紫外，电子束等等。

你好，谢谢你的回答，其实这方面我也不懂，我是想在一个材料上刻出100nm的一个长条，不知道能不能实现，如何实现？谢谢
赞一下 回复此楼
3楼2013-07-03 08:28:36
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

Apple.D.

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
华丽的飘过: 金币+3, 3q 2013-07-09 01:59:02
可以实现，通过目前光刻可以做到的特征尺寸可以达到27nm，通过激光干涉光刻的方法做到100nm不是问题，但是通常使用的激光器属于短波段激光器，如355,266,193等等。
赞一下(1人) 回复此楼
4楼2013-07-03 09:07:41
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 16 个回答
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 328求调剂，英语六级551，有科研经历 +5 生物工程调剂 2026-03-17 9/450 2026-03-21 23:32 by zhujy1982
[考研] 考研化学学硕调剂，一志愿985 +5 张vvvv 2026-03-15 7/350 2026-03-21 19:23 by ColorlessPI
[考研] 求调剂 +4 要好好无聊 2026-03-21 4/200 2026-03-21 18:57 by 学员8dgXkO
[考研] 材料工程专硕 348分求调剂 +3 冬辞. 2026-03-17 5/250 2026-03-21 18:47 by 学员8dgXkO
[考研] 生物学调剂 +3 Surekei 2026-03-21 3/150 2026-03-21 18:31 by 学员8dgXkO
[基金申请] 学校已经提交到NSFC，还能修改吗？ 40+4 babangida 2026-03-19 9/450 2026-03-21 16:12 by babangida
[考研] 279求调剂 +5 红衣隐官 2026-03-21 5/250 2026-03-21 14:59 by lature00
[考研] 310求调剂 +3 baibai1314 2026-03-16 3/150 2026-03-21 03:56 by JourneyLucky
[考研] 265求调剂 +3 Jack?k?y 2026-03-17 3/150 2026-03-21 03:17 by JourneyLucky
[考研] 301求调剂 +10 yy要上岸呀 2026-03-17 10/500 2026-03-21 03:14 by JourneyLucky
[考研] 332求调剂 +4 ydfyh 2026-03-17 4/200 2026-03-21 02:20 by JourneyLucky
[考研] 求调剂 +3 Ma_xt 2026-03-17 3/150 2026-03-21 02:05 by JourneyLucky
[考研] 307求调剂 +10 冷笙123 2026-03-17 10/500 2026-03-21 01:54 by JourneyLucky
[考研] 330求调剂 +4 小材化本科 2026-03-18 4/200 2026-03-20 23:13 by JourneyLucky
[考研] 085600材料与化工 +8 安全上岸！ 2026-03-16 8/400 2026-03-20 22:13 by luoyongfeng
[考研] 环境工程调剂 +9 大可digkids 2026-03-16 9/450 2026-03-20 17:38 by 醉在风里
[考研] 一志愿中国海洋大学，生物学，301分，求调剂 +5 1孙悟空 2026-03-17 6/300 2026-03-19 23:46 by zcl123
[考研] 085601求调剂 +4 Du.11 2026-03-16 4/200 2026-03-17 17:08 by ruiyingmiao
[考研] 考研调剂 +3 淇ya_~ 2026-03-17 5/250 2026-03-17 09:25 by Winj1e
[考研] 333求调剂 +3 文思客 2026-03-16 7/350 2026-03-16 18:21 by 文思客
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭