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xx4751

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[求助] 激光直写技术最小能刻到多细

请问一下现在激光直写技术最小能刻到多细，100nm能达到吗？哪个地方有这种设备。谢谢

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1楼 2013-07-02 20:50:33

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xx4751

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引用回帖:

4楼: Originally posted by Apple.D. at 2013-07-03 09:07:41
可以实现，通过目前光刻可以做到的特征尺寸可以达到27nm，通过激光干涉光刻的方法做到100nm不是问题，但是通常使用的激光器属于短波段激光器，如355,266,193等等。

需要掩膜板吗？

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6楼2013-07-03 10:24:19

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uvwxmc

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【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
华丽的飘过: 金币+2, 3q 2013-07-03 03:24:21
xx4751: 金币+10, ★有帮助 2013-07-10 19:13:55

可见光最短波长是390nm，怎么可能聚焦到100nm呢。
为啥要求‘直写’呢？直写精度不只是焦斑直径的问题，还有扫描精度问题。
光刻实现100nm级别以下的图形精度，都得用短波长波束，X光，深紫外，电子束等等。

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2楼2013-07-02 23:28:48

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xx4751

铜虫 (正式写手)

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2楼: Originally posted by uvwxmc at 2013-07-02 23:28:48
可见光最短波长是390nm，怎么可能聚焦到100nm呢。
为啥要求‘直写’呢？直写精度不只是焦斑直径的问题，还有扫描精度问题。
光刻实现100nm级别以下的图形精度，都得用短波长波束，X光，深紫外，电子束等等。

你好，谢谢你的回答，其实这方面我也不懂，我是想在一个材料上刻出100nm的一个长条，不知道能不能实现，如何实现？谢谢

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3楼2013-07-03 08:28:36

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Apple.D.

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【答案】应助回帖

★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
华丽的飘过: 金币+3, 3q 2013-07-09 01:59:02

可以实现，通过目前光刻可以做到的特征尺寸可以达到27nm，通过激光干涉光刻的方法做到100nm不是问题，但是通常使用的激光器属于短波段激光器，如355,266,193等等。

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4楼2013-07-03 09:07:41

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