【答案】应助回帖

11楼2013-07-05 09:55:26

Apple.D.

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【答案】应助回帖

单个条纹的宽是100nm？那条纹与条纹之间的距离多少？

12楼2013-07-05 16:31:06

xx4751

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引用回帖:

12楼: Originally posted by Apple.D. at 2013-07-05 16:31:06
单个条纹的宽是100nm？那条纹与条纹之间的距离多少？

就一条，长um宽100nm

13楼2013-07-05 17:16:39

Apple.D.

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【答案】应助回帖

引用回帖:

13楼: Originally posted by xx4751 at 2013-07-05 17:16:39
就一条，长um宽100nm...

只要一条？这个不好做，如果是很多条的话没有问题，如果只要一条的话就很麻烦了，你要在什么材料上做？

14楼2013-07-06 09:08:41

Apple.D.

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【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
xx4751: 金币+20, ★★★很有帮助, 谢谢 2013-07-10 19:13:09

引用回帖:

10楼: Originally posted by xx4751 at 2013-07-04 21:41:25
不是周期条纹，就一条，也不需要多长...

只要一条，且100nm宽，比较难，我还没有想到如何做，如果是做很多，从中选一条可以吗？你使用什么材料？

15楼2013-07-09 09:45:38

123321wah

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据我了解，要达到100nm的精度的话就不会是激光直写技术了，而是电子束直写技术了。电子束直写的设备在不少高校和研究所都开始使用了。目前国内香港理化代理一种基于SEM改装的电子束曝光纳米图形发生系统。只需要一台扫描电镜+电子束纳米图形发生器即可完成相关研究，国内绝大部分用户都倾向这种电子束光刻技术。

16楼2013-08-08 12:38:59