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xx4751

铜虫 (正式写手)

引用回帖:
8楼: Originally posted by Apple.D. at 2013-07-03 15:22:28
直接刻蚀不需要掩膜板,七楼问的很有道理,100nm是什么的长度,是条纹的周期吗?...

宽100nm,长的话μm量级
11楼2013-07-05 09:55:26
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Apple.D.

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

单个条纹的宽是100nm?那条纹与条纹之间的距离多少?
12楼2013-07-05 16:31:06
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xx4751

铜虫 (正式写手)

引用回帖:
12楼: Originally posted by Apple.D. at 2013-07-05 16:31:06
单个条纹的宽是100nm?那条纹与条纹之间的距离多少?

就一条,长um宽100nm
13楼2013-07-05 17:16:39
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Apple.D.

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

引用回帖:
13楼: Originally posted by xx4751 at 2013-07-05 17:16:39
就一条,长um宽100nm...

只要一条?这个不好做,如果是很多条的话没有问题,如果只要一条的话就很麻烦了,你要在什么材料上做?
14楼2013-07-06 09:08:41
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Apple.D.

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
xx4751: 金币+20, ★★★很有帮助, 谢谢 2013-07-10 19:13:09
引用回帖:
10楼: Originally posted by xx4751 at 2013-07-04 21:41:25
不是周期条纹,就一条,也不需要多长...

只要一条,且100nm宽,比较难,我还没有想到如何做,如果是做很多,从中选一条可以吗?你使用什么材料?
15楼2013-07-09 09:45:38
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123321wah

铜虫 (初入文坛)

据我了解,要达到100nm的精度的话就不会是激光直写技术了,而是电子束直写技术了。电子束直写的设备在不少高校和研究所都开始使用了。目前国内香港理化代理一种基于SEM改装的电子束曝光纳米图形发生系统。只需要一台扫描电镜+电子束纳米图形发生器即可完成相关研究,国内绝大部分用户都倾向这种电子束光刻技术。
16楼2013-08-08 12:38:59
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